
芯明天压电偏摆/旋转台

型号 | XD505.T0S |
运动自由度 | θx、θy |
传感器 | SGS |
标称偏摆角度 (0~120V) | 0.28mrad/轴 |
偏摆角度 (0~150V) | 0.35mrad/轴 |
分辨率 | 0.01μrad |
空载谐振频率 | 4.6kHz/轴 |
带载谐振频率@5kg | θx 0.4kHz/θy 0.32kHz |
阶跃时间 | 50ms |
承载能力 | 20kg |
静电容量 | 14.4μF |
材质 | 钢、铝 |
重量(含线) | 2100g |
配套控制器

1.显微成像

2.激光合束

3.光束扫描

4.空间扰动模拟系统

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