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量块检定全流程技术指南

来源:上海实润实业有限公司   2026年01月16日 13:49  

                                                               量块检定全流程技术指南
??检定等级双轨体系
量块采用"等"与"级"双维标识:
• 分级体系(K/0-3级):基于制造偏差,适用于车间快速校验
• 分等体系(1-5等):依据测量不确定度,用于实验室溯源

关键参数对照表
| 规格 | 平面度(μm) | 长度变动量(μm) | 环境温控(℃) |
| 00级量块 | ≤0.05| ≤0.05| 20±0.5|
| 2等量块| ≤0.15| ≤0.15| 20±0.3|

五步标准化操作流程
1.环境预置
恒温:双压缩机恒温机组(制冷冗余≥1.3),主控温±0.2℃,辅控湿度,温度梯度≤0.1℃/h
洁净:350K级空气过滤,操作人员穿防静电无尘服

2.初检项目
平面度检测:平晶研合空气楔角5-8μrad,白光干涉条纹弯曲量0.29μm/mm对应偏差,紫光内圈判凹陷
研合性测试:基准平晶接触面需均匀阻力滑动

3.精密测量
1等量块:激光干涉仪测量(不确定度≤0.05μm)
3等量块:2等标准件比对(光学计分辨率0.1μm)

4.数据处理
按级使用:直接采用标称值(如100±0.2μm)
按等使用:实测值+修正值(如100.00012±0.05μm)

5.维护处置
降级规则:中心长度超差但不确定度合格时降级
存储规范:专用木盒存放,接触面涂微晶蜡

特殊场景应对方案
• 修理后量块:可能出现"2等2级"混合标识
• 大规格量块(>100mm):水平放置,支撑间距0.211L

周期管理建议
1-2等量块:强制年检
高频使用量块:9个月缩短周期
异常情况:撞击/超温后立即停用

技术陷阱警示
▲ 禁用混用检定体系:不可同时按级、等使用
▲ 研合接触时间>15秒引发分子吸附误差
▲ 表面锈蚀>0.1μm直接报废

通过标准化检定矩阵,可将测量误差控至纳米级。建议根据量值传递需求匹配等级组合,平衡检测效率与精度。



量块检定全流程技术指南

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