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复层恒温恒湿箱在半导体芯片老化测试中的应用

来源:广东皓天检测仪器有限公司   2026年02月03日 17:24  
半导体芯片的稳定性与可靠性直接决定终端设备运行安全,老化测试作为芯片出厂前的核心环节,需模拟温湿度环境,检验芯片长期工作后的性能衰减,而复层恒温恒湿试验箱凭借高效、精准的优势,成为该测试场景的优选设备,有效解决传统测试效率低、调控精度不足的痛点。
半导体芯片老化测试的核心需求的是模拟不同温湿度工况下的长期运行环境,复层式结构的核心优势的是多层独立腔体同步工作,可针对同一批次芯片设置不同温湿度参数,或对不同型号芯片开展并行测试,大幅提升测试效率,较单腔设备测试周期缩短40%以上,适配半导体量产测试的规模化需求。
设备的精准调控能力匹配芯片老化测试的严苛标准。芯片老化测试需控制温湿度波动在极小范围,复层恒温恒湿箱采用PID闭环控制技术,每层内置高精度温湿度传感器,实时采集腔内数据并反馈至PLC控制器,通过双级压缩制冷与电加热复合控温,实现-70℃至150℃宽温域调控,加湿除湿系统精准控制10%-98%RH湿度范围,温湿度波动分别控制在±0.5℃、±2%RH以内,避免环境偏差影响测试结果。
分层抗干扰设计为测试精准度提供保障,层间采用高密度聚氨酯保温层分隔,搭配独立离心风机与上送下回风道,确保各腔体气流均匀,即使相邻腔体温差达50℃也无交叉干扰,可同时开展高温老化、湿热老化等不同测试项目。此外,设备共享核心部件,能耗较单腔设备降低30%以上,搭载物联网??槭迪衷冻碳嗫赜胧葑匪?,适配半导体工业智能化测试需求。
综上,复层恒温恒湿箱通过高效并行测试、精准环境调控与节能设计,契合半导体芯片老化测试的规模化、高精度需求,为芯片可靠性筛选提供有力技术支撑,推动半导体制造行业向高效、精准、节能的测试模式升级。



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