一文与您分享真空电容压力计的正确安装方法

来源：上海朝辉压力仪器有限公司 2026年02月09日 17:12

　　真空电容压力计是高精度真空测量的核心仪器，广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、真空镀膜及科研领域，可精准测量绝对压力，且不受气体种类影响。其基于电容变化感知膜片形变，对安装方式极为敏感。若安装不当，易因机械应力、温度梯度、振动干扰或密封不良，导致零点漂移、响应迟滞甚至传感器损坏。正确安装真空电容压力计需遵循应力-free、温稳、洁净、密封严的四大原则。

　　一、安装位置选择

　　靠近被测真空腔体：

　　尽量缩短连接管路（建议＜30cm），减少死体积与响应延迟；

　　避免热源与冷阱直对：

　　远离加热器、液氮冷或高温管道，防止传感器本体温差＞5℃引发热漂移；

　　水平或垂直安装均可，但需固定牢靠：

　　禁止悬臂式安装，必须使用刚性支架，杜绝管道应力传递至传感器法兰。

　　二、机械连接规范

　　使用标准CF或KF真空法兰：

　　确保法兰面光洁无划痕，铜垫圈或橡胶圈无老化、变形；

　　对角均匀紧固螺栓：

　　采用扭矩扳手，按厂家推荐力矩（如CF1.33"为25N·m）分步拧紧，避免膜片受偏载；

　　禁用生料带或密封胶：

　　真空系统严禁使用非金属密封材料，以防放气污染或堵塞。

　　三、电气与环境要求

　　独立供电与屏蔽电缆：

　　使用原厂配套低噪声屏蔽电缆，长度≤15m，避免与动力线平行走线；

　　单点接地：

　　信号地与机壳地在控制器端统一接至独立洁净接地极（电阻≤1Ω），防止地环路干扰；

　　防振措施：

　　安装于隔振平台或远离泵体、压缩机等振动源，必要时加装柔性波纹管缓冲。

　　四、预处理与烘烤兼容性

　　系统烘烤前确认耐温等级：

　　多数电容规可耐150–200℃（部分型号支持250℃），超温将损坏陶瓷膜片；

　　烘烤时通冷却气或断电?；ぃ?/div>

　　若系统需＞150℃烘烤，应关闭规管电源，并用氮气吹扫降温，或临时拆卸。

　　五、调试与验证

　　安装后执行零点校准：

　　在高真空（＜10??Pa）下进行“ZeroCalibration”，消除安装应力影响；

　　避免频繁大气暴露：

　　非测量状态建议关闭隔离阀，延长传感器寿命。

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