资料简介
利用传感器外部结构的过载?;ど杓疲芄缓芎玫孛植沟ゾЧ柩沽Υ衅髯陨砉乇;ど杓频牟蛔?,不仅容易实现,而且抗过载压力能大幅提高。针对差压传感器和表压传感器及绝压传感器,传感器外部结构过载?;び?种不同的设计方案。
表压传感器以大气压作为参考压力,其测量硅膜片的负腔直接通大气;绝压传感器以绝对真空作为参考压力,其测量硅膜片的负腔为真空封装状态。表压和绝压传感器的外部过载?;ど杓坪筒钛勾衅饔兴煌?/span>
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