中文名高真空离子溅射仪外文名SputterCoaster特点自动洗靶，自动溅射范围不使用膜厚监控多循环9次1使用膜厚监控1.打开总电源，打开氩气开关（两成保持在0.035Mpa左右，溅射时也要注意氩气的流量）。2.按主机背面的开关按钮，进入开机界面，根据提示进行下面一系列的操作。3.接下来仪器就开始自动洗靶，自动溅射，溅射结束后要稍等片刻，然后按stop放气。待放气操作完成后，开盖，取出样品。4.TargetBtype操作同上。2不使用膜厚监控1.其余操作步骤同上，但要根据自己的需要设置溅射电流和溅射时间（长时间是4min），和循环次数（多循环9次），按上下键设置时间。2.接下来仪器就开始自动详情>>
离子溅射仪价格
